• 【科邁斯科技】桌上型 XRF SEA 系列膜厚測試功能原理與說明

    新聞提供:科邁斯集團發表日:2012/09/25
            為感謝廣大的客戶群,特別提供此篇技術文件以供參考,並讓使用者了解到膜厚軟體(選配)的使用。

    一、利用XRF 測定電鍍膜厚原理
            利用 X 射線的能量激發樣品中的金屬元素,使它產生特徵螢光X射線,通過檢測器檢測到螢光的強度來計算金屬鍍層的厚度。具有非破壞,快速簡便的優點。檢測的範圍大約從 0.01μm 100μm,根據元素不同會有所差異。
            下圖所示為Au(電鍍層)與 Cu(材料)的X射線強度關係。由此例可知,距離表面越深的部分,其產生的X射線越少。這是因為原X射線被表面所吸收,很難穿透物質進入內部深層,同時,所發生的螢光X射線受到表面層的吸收,不容易從深層逃逸,這是二者的複合效果。
            因此,當表面層膜厚超過一定厚度時,X射線將不能穿透,同時,螢光X射線強度也不再發生變化。該厚度稱之為試樣的無限厚。該無限厚的厚度因物質的成分和密度的不同而有差異。若是金屬為微米級(數十到數百 μm),樹脂等為數mm的厚度。
            該現象也與螢光X射線的能量也有關係,能量高的螢光X射線可以從深層逃逸出來,但是能量低的螢光X射線很難從深層逃逸出來。螢光X射線的能量與週期率相關,在輕元素中,原子序號越小,其螢光X射線的能量越小,無限厚也就變得越薄。
    X射線 
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